Designing and modeling of a grating-based displacement micro-transducer - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Nanotechnology Année : 2001

Designing and modeling of a grating-based displacement micro-transducer

Bing Zhao
MicroMachines Centre
CV
Ai-Qun Liu
  • Fonction : Auteur
School of Electrical and Electronic Engineering
Franck Chollet
MicroMachines Centre
CV
Jianmin Miao
  • Fonction : Auteur
MicroMachines Centre
H.-M. Xie
  • Fonction : Auteur
MicroMachines Centre
Anand Asundi
  • Fonction : Auteur
MicroMachines Centre
School of Electrical and Electronic Engineering

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique Optique [physics.optics]

Franck Chollet  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00340901

Soumis le : dimanche 23 novembre 2008-22:21:23

Dernière modification le : lundi 29 novembre 2021-08:26:04

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00340901 , version 1 (23-11-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00340901 , version 1

Citer

Bing Zhao, Ai-Qun Liu, Franck Chollet, Jianmin Miao, H.-M. Xie, et al.. Designing and modeling of a grating-based displacement micro-transducer. Nanotechnology, 2001, 12, pp.308-315. ⟨hal-00340901⟩

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