Dépôts par capillarité de films mésoporeux sur dispositifs à ondes acoustiques : application à la détection de composés organiques volatils

Gregory Tortissier (1) , Laurianne Blanc (1) , Angelique Tetelin (1) , Céline Zimmermann (1) , Jean-Luc Lachaud (1) , Cédric Boissière (2) , Corinne Dejous (1) , Dominique Rebière (1)

1 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
2 LCMCP (site Paris VI) - Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris (site Paris VI)

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Gregory Tortissier, Laurianne Blanc, Angelique Tetelin, Céline Zimmermann, Jean-Luc Lachaud, et al.. Dépôts par capillarité de films mésoporeux sur dispositifs à ondes acoustiques : application à la détection de composés organiques volatils. 6e Journées Maghreb-Europe sur les Matériaux et leurs Applications aux Dispositifs Capteurs (MADICA 2008), Oct 2008, Rabat, Maroc. pp.XX. ⟨hal-00337665⟩