Micromachined thermal accelerometer

Frédérick Mailly; Alain Giani; A. Martinez; R. Bonnot; Pierre Temple-Boyer; Alexandre Boyer

doi:10.1016/S0924-4247(02)00428-4

Article Dans Une Revue Sensors and Actuators Année : 2003

Micromachined thermal accelerometer

(1) , (1) , , (1) , , (1)

1

Frédérick Mailly

Fonction : Auteur
PersonId : 6351
IdHAL : frederick-mailly
ORCID : 0000-0002-4030-0505
IdRef : 069998965

Centre d'Electronique et de Micro-optoélectronique de Montpellier

CV

Alain Giani

Fonction : Auteur
PersonId : 19758
IdHAL : alain-giani
IdRef : 128287322

Centre d'Electronique et de Micro-optoélectronique de Montpellier

A. Martinez

Fonction : Auteur
PersonId : 760833
ORCID : 0000-0002-6745-5734
IdRef : 157348415

R. Bonnot

Fonction : Auteur

Centre d'Electronique et de Micro-optoélectronique de Montpellier

Pierre Temple-Boyer

Fonction : Auteur
PersonId : 4211
IdHAL : pierre-temple-boyer
IdRef : 082101469

Alexandre Boyer

Fonction : Auteur
PersonId : 13283
IdHAL : alexandre-boyer
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Centre d'Electronique et de Micro-optoélectronique de Montpellier

Mots clés

Thermal sensor Accelerometer Tilt measurement

Domaines

Electronique

Daniel Gasquet : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00327192

Soumis le : mardi 7 octobre 2008-16:41:40

Dernière modification le : lundi 12 février 2024-11:09:28

Dates et versions

hal-00327192 , version 1 (07-10-2008)

Identifiants

HAL Id : hal-00327192 , version 1
DOI : 10.1016/S0924-4247(02)00428-4

Citer

Frédérick Mailly, Alain Giani, A. Martinez, R. Bonnot, Pierre Temple-Boyer, et al.. Micromachined thermal accelerometer. Sensors and Actuators, 2003, 103 (3), pp.359-363. ⟨10.1016/S0924-4247(02)00428-4⟩. ⟨hal-00327192⟩

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