Investigation of Pt/Ti bilayer on SiNx/Si substrates for thermal sensor applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science & Technology A Année : 2002

Investigation of Pt/Ti bilayer on SiNx/Si substrates for thermal sensor applications

Domaines

Electronique

Daniel Gasquet  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00324019

Soumis le : mardi 23 septembre 2008-17:42:56

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:51

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Dates et versions

hal-00324019 , version 1 (23-09-2008)

Identifiants

Citer

Alain Giani, Frédérick Mailly, Frédérique Pascal-Delannoy, Alain Foucaran, André Boyer. Investigation of Pt/Ti bilayer on SiNx/Si substrates for thermal sensor applications. Journal of Vacuum Science & Technology A, 2002, 20 (1), pp.112-116. ⟨10.1116/1.1424272⟩. ⟨hal-00324019⟩

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