Communication Dans Un Congrès
Année : 2007
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https://hal.science/hal-00285262
Soumis le : jeudi 5 juin 2008-10:02:02
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00285262 , version 1
Citer
C. Durand, F. Casset, L. Buchaillot. Résonateurs électromécaniques MEMS fabriqués à partir d'une technologie Silicon On Nothing. 10èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique, JNRDM 2007, 2007, Lille, France. ⟨hal-00285262⟩
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