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Picosecond ultrasonics as a helpful technique for introducing a new electrode material in BAW technology : the iridium case
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IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 ([Univ. Lille, CNRS, Ecole Centrale Lille, Yncréa-ISEN, UVHC] ––
Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D’ASCQ CEDEX - France)
- Centrale Lille (École Centrale de Lille - Cité Scientifique - CS 20048 59651 Villeneuve d'Ascq Cedex - France)
- Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN) (France)
- UVHC - Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (Campus Mont Houy 59313 Valenciennes Cedex 9 - France)
- Université de Lille (Lille - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8520 (France)
- UPHF - Université Polytechnique Hauts-de-France (Campus Mont Houy 59313 Valenciennes Cedex 9 - France)
Document type :
Conference papers
Complete list of metadata
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00283997
Contributor : Collection Iemn Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, June 2, 2008 - 9:42:36 AM
Last modification on : Wednesday, March 23, 2022 - 3:50:21 PM
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Identifiers
- HAL Id : hal-00283997, version 1
- DOI : 10.1109/ULTSYM.2007.360
Collections
IEMN | CNRS | UNIV-LILLE | UNIV-VALENCIENNES
Citation
Arnaud Devos, J. Olivares, M. Clement, E. Iborra, S. Gonzalez-Castilla, et al.. Picosecond ultrasonics as a helpful technique for introducing a new electrode material in BAW technology : the iridium case. IEEE International Ultrasonics Symposium, 2007, United States. pp.1433-1436, ⟨10.1109/ULTSYM.2007.360⟩. ⟨hal-00283997⟩
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