A silicon beam-based microcantilever nanoelectrosprayer

S. Arscott (1) , Bernard Legrand (1) , Lionel Buchaillot (1) , Alison Ashcroft (2)

1 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
2 University of Leeds

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

S. Arscott, Bernard Legrand, Lionel Buchaillot, Alison Ashcroft. A silicon beam-based microcantilever nanoelectrosprayer. Sensors and Actuators B: Chemical, 2007, 125 (1), pp.72-78. ⟨10.1016/j.snb.2007.01.040⟩. ⟨hal-02347442⟩