Article Dans Une Revue
Applied Surface Science
Année : 2002
Patrick Ferrand : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00272390
Soumis le : vendredi 11 avril 2008-14:15:27
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:33:55
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00272390 , version 1
- DOI : 10.1016/S0169-4332(01)00692-4
Citer
S. Setzu, Patrick Ferrand, Gilles Lerondel, R. Romestain. Photo-lithography for 2{D} optical microstructures in porous silicon: application to nucleation of macropores. Applied Surface Science, 2002, 186 (1-4), pp.588-593. ⟨10.1016/S0169-4332(01)00692-4⟩. ⟨hal-00272390⟩
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