Mesure de viscosité de films de polymère confinés sub-100 nm

Tanguy Lévéder (1) , Laurent Davoust (2) , Stéfan Landis (1)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 LEGI - Laboratoire des Écoulements Géophysiques et Industriels [Grenoble]

Ce travail est une première approche de la mesure de viscosité de films de polymères ultraminces (sub-100 nm). Différentes hypothèses usuelles de rhéologie macroscopique sont confrontées aux résultats expérimentaux obtenus dans le cadre de la lithographie par nanoimpression. Une loi originale de dépendance de la viscosité avec l'épaisseur d'un film de polymère confiné est proposée.

Domaines: Mécanique des fluides [physics.class-ph]; Mécanique des fluides [physics.class-ph]

Tanguy Lévéder, Laurent Davoust, Stéfan Landis. Mesure de viscosité de films de polymère confinés sub-100 nm. CFM 2007 - 18ème Congrès Français de Mécanique, 2007, Grenoble, France. ⟨hal-00266817⟩