Development of miniaturized piezoelectric actuators for optical applications realized using LIGA technology - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Microelectromechanical Systems Année : 1999

Development of miniaturized piezoelectric actuators for optical applications realized using LIGA technology

Hélène Debeda
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Tv Freyhold
  • Fonction : Auteur
J. Mohr
  • Fonction : Auteur
U. Wallrabe
  • Fonction : Auteur
J. Wengelink
  • Fonction : Auteur

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Ims Import  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00258753

Soumis le : lundi 25 février 2008-11:22:53

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00258753 , version 1 (25-02-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00258753 , version 1

Citer

Hélène Debeda, Tv Freyhold, J. Mohr, U. Wallrabe, J. Wengelink. Development of miniaturized piezoelectric actuators for optical applications realized using LIGA technology. Journal of Microelectromechanical Systems, 1999, 8, pp.1. ⟨hal-00258753⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS IMS-BORDEAUX IMS-BORDEAUX-FUSION
42 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More