Article Dans Une Revue
Applied Physics Letters
Année : 2007
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https://hal.science/hal-00255853
Soumis le : jeudi 14 février 2008-11:30:50
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
N. Breil, A. Halimaoui, T. Skotnicki, Emmanuel Dubois, G. Larrieu, et al.. Selective etching of Pt with respect to PtSi using a sacrificial low temperature germanidation process. Applied Physics Letters, 2007, 91, pp.232112-1-3. ⟨10.1063/1.2821143⟩. ⟨hal-00255853⟩
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