Article Dans Une Revue
IEEE Electron Device Letters
Année : 2007
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00255851
Soumis le : jeudi 14 février 2008-11:30:48
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
F. Cornu-Fruleux, J. Penaud, Emmanuel Dubois, P. Coronel, G. Larrieu, et al.. Spacer-first damascene-gate FinFET architecture featuring stringer-free integration. IEEE Electron Device Letters, 2007, 28, pp.523-526. ⟨10.1109/LED.2007.897443⟩. ⟨hal-00255851⟩
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