Electrical and optical characterizations by prism-coupling method of PZT deposited in-situ by sputtering - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Vacuum Année : 2002

Electrical and optical characterizations by prism-coupling method of PZT deposited in-situ by sputtering

El Hadj Dogheche
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Denis Remiens
G. Velu

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https://hal.science/hal-00250392

Soumis le : mardi 12 février 2008-08:40:11

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00250392 , version 1 (12-02-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00250392 , version 1

Citer

El Hadj Dogheche, Denis Remiens, G. Velu. Electrical and optical characterizations by prism-coupling method of PZT deposited in-situ by sputtering. Vacuum, 2002, 66, pp.1-8. ⟨hal-00250392⟩

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