Influence of the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon micro-electro-mechanical-systems (MEMS) - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Japanese Journal of Applied Physics, part 2 : Letters Année : 2002

Influence of the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon micro-electro-mechanical-systems (MEMS)

O. Millet
  • Fonction : Auteur
Bernard Legrand
CV
D. Collard
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00250391

Soumis le : mardi 12 février 2008-08:40:07

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00250391 , version 1 (12-02-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00250391 , version 1

Citer

O. Millet, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot. Influence of the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon micro-electro-mechanical-systems (MEMS). Japanese Journal of Applied Physics, part 2 : Letters, 2002, 41, pp.L1339-L1341. ⟨hal-00250391⟩

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