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Article Dans Une Revue Chemical Sensors Année : 2004

High order modes to improve sensitivity of resonant microcantilever chemical microsensors

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00203745

Soumis le : vendredi 11 janvier 2008-10:28:42

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00203745 , version 1 (11-01-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00203745 , version 1

Citer

Isabelle Dufour, Frédéric Lochon, Ludivine Fadel. High order modes to improve sensitivity of resonant microcantilever chemical microsensors. Chemical Sensors, 2004, 20, pp.1. ⟨hal-00203745⟩

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