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Article Dans Une Revue Journal of Micromechanics and Microengineering Année : 2004

Chemical sensing: millimeter size resonant microcantilever performance

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00203744

Soumis le : vendredi 11 janvier 2008-10:28:37

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

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Dates et versions

hal-00203744 , version 1 (11-01-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00203744 , version 1

Citer

Ludivine Fadel, Frédéric Lochon, Isabelle Dufour, Olivier Français. Chemical sensing: millimeter size resonant microcantilever performance. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2004, 14, pp.1. ⟨hal-00203744⟩

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