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Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Knudsen cell mass spectrometry applied to the investigation of organometallic precursors vapours

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00196653 , version 1 (13-12-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00196653 , version 1

Citer

P. Violet, I. Nuta, C. Chatillon, E. Blanquet. Knudsen cell mass spectrometry applied to the investigation of organometallic precursors vapours. EUROCVD, Sep 2007, Netherlands. pp.8813-8817. ⟨hal-00196653⟩

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