Field distribution and collection efficiency in an AlGaN Metal-Semiconductor-Metal detector

Lionel Hirsch (1) , P. Moretto , J.Y. Duboz , J.L. Reverchon , B. Damilano , N. Grandjean , F. Semond , J. Massies

1 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Lionel Hirsch, P. Moretto, J.Y. Duboz, J.L. Reverchon, B. Damilano, et al.. Field distribution and collection efficiency in an AlGaN Metal-Semiconductor-Metal detector. J. of Appl. Phys, 2002, 1, pp.1. ⟨hal-00183530⟩