Electrical characterization and modification of a Micro Electro Mechanical System (MEMS) for extended mechanical reliability and testing - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronics Reliability Année : 1998

Electrical characterization and modification of a Micro Electro Mechanical System (MEMS) for extended mechanical reliability and testing

Romain Desplats
  • Fonction : Auteur
David Meunier
  • Fonction : Auteur
J. Benbrick
  • Fonction : Auteur
G. Perez
  • Fonction : Auteur
Claude Pellet
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Daniel Estève
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 956405
  • IdRef : 030534615
B. Benteo
  • Fonction : Auteur

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00183119

Soumis le : lundi 29 octobre 2007-15:33:23

Dernière modification le : mercredi 2 août 2023-16:40:25

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00183119 , version 1 (29-10-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00183119 , version 1

Citer

Romain Desplats, David Meunier, J. Benbrick, G. Perez, Claude Pellet, et al.. Electrical characterization and modification of a Micro Electro Mechanical System (MEMS) for extended mechanical reliability and testing. Microelectronics Reliability, 1998, 38, pp.1. ⟨hal-00183119⟩

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