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Communication Dans Un Congrès Année : 2004

Modélisation analytique de micro actionneurs thermiques

S. Muratet
  • Fonction : Auteur
Jean-Yves Fourniols
CV
Marc Budinger
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
CV
Claude Pellet
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00183080

Soumis le : lundi 29 octobre 2007-15:28:14

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00183080 , version 1 (29-10-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00183080 , version 1

Citer

S. Muratet, Jean-Yves Fourniols, Marc Budinger, Claude Pellet. Modélisation analytique de micro actionneurs thermiques. 2èmes Journées du RTP Fiabilité, 2004, France. pp.1. ⟨hal-00183080⟩

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