Capacitive humidity sensors based on oxidized PhotoBCB polymer films: enhanced sensitivity and response time - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Capacitive humidity sensors based on oxidized PhotoBCB polymer films: enhanced sensitivity and response time

Angélique Tetelin
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Claude Pellet
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
A. Achen
  • Fonction : Auteur
M. Toepper
  • Fonction : Auteur

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00183070

Soumis le : lundi 29 octobre 2007-15:27:52

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00183070 , version 1 (29-10-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00183070 , version 1

Citer

Angélique Tetelin, Claude Pellet, A. Achen, M. Toepper. Capacitive humidity sensors based on oxidized PhotoBCB polymer films: enhanced sensitivity and response time. 4th IEEE Sensors Conference, 2005, United States. pp.1. ⟨hal-00183070⟩

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