A highly simple failure detection method for electrostatic microactuators: application to automatic testing and accelerated lifetime estimation - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing Année : 2006

A highly simple failure detection method for electrostatic microactuators: application to automatic testing and accelerated lifetime estimation

Mots clés

MEMS test failure

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Benjamin Caillard  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00181800

Soumis le : mercredi 24 octobre 2007-15:42:52

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00181800 , version 1 (24-10-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00181800 , version 1

Citer

Benjamin Caillard, Yoshio Mita, Yamato Fukuta, Tadashi Shibata, Hiroyuki Fujita. A highly simple failure detection method for electrostatic microactuators: application to automatic testing and accelerated lifetime estimation. IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 2006, 19 (1), pp. 35-42. ⟨hal-00181800⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS IMS-BORDEAUX IMS-BORDEAUX-FUSION
58 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More