Devices based on free standing thick-films made with a new sacrificial layer process

Type de document :
Communication dans un congrès
31 Int. Conf. IMAPS, Sep 2007, Rzeszow-Krasiczyn, Poland. 2007
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00164612
Contributeur : Isabelle Dufour <>
Soumis le : samedi 21 juillet 2007 - 17:37:22
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:21:07

Identifiants

  • HAL Id : hal-00164612, version 1

Citation

Claude Lucat, Patrick Ginet, Christophe Castille, Hélène Debéda, Francis Ménil. Devices based on free standing thick-films made with a new sacrificial layer process. 31 Int. Conf. IMAPS, Sep 2007, Rzeszow-Krasiczyn, Poland. 2007. 〈hal-00164612〉

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