On a new sacrificial layer process of free-standing piezoelectric thick films for MEMS applications

Claude Lucat (1) , Patrick Ginet (1) , Regnault von Der Mühll (2) , Christophe Castille (1) , Francis Ménil (1) , Mario Maglione (2)

1 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
2 ICMCB - Institut de Chimie de la Matière Condensée de Bordeaux

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Claude Lucat, Patrick Ginet, Regnault von Der Mühll, Christophe Castille, Francis Ménil, et al.. On a new sacrificial layer process of free-standing piezoelectric thick films for MEMS applications. International Symposium on Integrated Ferroelectrics 2007, May 2007, Bordeaux, France. ⟨hal-00164609⟩