New sacrificial layer based screen-printing process for free-standing thick-films applied to MEMS - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue International Journal of Microcircuits and Electronic Packaging Année : 2007

New sacrificial layer based screen-printing process for free-standing thick-films applied to MEMS

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00164393

Soumis le : vendredi 20 juillet 2007-11:50:44

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00164393 , version 1 (20-07-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00164393 , version 1

Citer

Claude Lucat, Patrick Ginet, Francis Ménil. New sacrificial layer based screen-printing process for free-standing thick-films applied to MEMS. International Journal of Microcircuits and Electronic Packaging, 2007, 4, pp. 86-92. ⟨hal-00164393⟩

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