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Article Dans Une Revue IEEE Review on Advances in Micro, Nano, and Molecular Systems Année : 2007

New screen-printed thermal microactuator

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00164389

Soumis le : vendredi 20 juillet 2007-11:44:49

Dernière modification le : lundi 20 novembre 2023-11:44:21

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00164389 , version 1 (20-07-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00164389 , version 1

Citer

Patrick Ginet, Claude Lucat, Marc Budinger, Francis Ménil. New screen-printed thermal microactuator. IEEE Review on Advances in Micro, Nano, and Molecular Systems, 2007, 1-3, pp.851-855. ⟨hal-00164389⟩

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