Optimisation d'une technique 3D pour la réalisation de circuits intégrés millimétriques sur substrat de silicium

Autre Publication Scientifique Année : 2004

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G. Six

https://hal.science/hal-00162764

Soumis le : lundi 16 juillet 2007-10:13:12

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

hal-00162764 , version 1 (16-07-2007)

G. Six. Optimisation d'une technique 3D pour la réalisation de circuits intégrés millimétriques sur substrat de silicium. 2004. ⟨hal-00162764⟩

CNRS UNIV-VALENCIENNES IEMN UNIV-LILLE

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