Electrical OverStress/ElectroStatic Discharges (EOS/ESD) specificities in MEMS: outline of a protection strategy - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Electrical OverStress/ElectroStatic Discharges (EOS/ESD) specificities in MEMS: outline of a protection strategy

Mots clés

EOS-ESD MEMS

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Benjamin Caillard  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00162196

Soumis le : jeudi 12 juillet 2007-16:19:04

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00162196 , version 1 (12-07-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00162196 , version 1

Citer

Benjamin Caillard, Claude Pellet, Andre Touboul, Yoshio Mita, Hirohito Fujita. Electrical OverStress/ElectroStatic Discharges (EOS/ESD) specificities in MEMS: outline of a protection strategy. IEEE International symposium on the Physical and Failure Analysis of integrated circuits (IPFA'07), Jul 2007, Bangalore, India. pp.6-1. ⟨hal-00162196⟩

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