Microsystèmes tridimensionnels auto-assemblés : modélisation et caractérisation mécanique - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2000

Microsystèmes tridimensionnels auto-assemblés : modélisation et caractérisation mécanique

L. Buchaillot
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
E. Quevy
  • Fonction : Auteur
O. Millet
  • Fonction : Auteur
D. Collard
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00158534

Soumis le : vendredi 29 juin 2007-09:48:02

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00158534 , version 1 (29-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00158534 , version 1

Citer

L. Buchaillot, E. Quevy, O. Millet, D. Collard. Microsystèmes tridimensionnels auto-assemblés : modélisation et caractérisation mécanique. Journée 'Couplage entre Mécanique et Electricité', 2000, Cachan, France. ⟨hal-00158534⟩

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