Nanopatterning of InP(001) surface using e-beam lithography to localize InAs quantum dots for single photon source application - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Nanopatterning of InP(001) surface using e-beam lithography to localize InAs quantum dots for single photon source application

A. Turala
  • Fonction : Auteur
P. Rojo-Romeo
  • Fonction : Auteur
P. Regreny
M. Gendry
C. Priester
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00152961

Soumis le : vendredi 8 juin 2007-09:14:11

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00152961 , version 1 (08-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00152961 , version 1

Citer

A. Turala, P. Rojo-Romeo, P. Regreny, M. Gendry, C. Priester. Nanopatterning of InP(001) surface using e-beam lithography to localize InAs quantum dots for single photon source application. 2006, 2 pp. ⟨hal-00152961⟩

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