Synthesis of hexagonal boron nitride thin films by a plasma assisted chemical vapour deposition method - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal de Physique IV Proceedings Année : 2001

Synthesis of hexagonal boron nitride thin films by a plasma assisted chemical vapour deposition method

P. Thevenin
  • Fonction : Auteur
A. Soltani
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
A. Bath
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00152634

Soumis le : jeudi 7 juin 2007-11:14:52

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00152634 , version 1 (07-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00152634 , version 1

Citer

P. Thevenin, A. Soltani, A. Bath. Synthesis of hexagonal boron nitride thin films by a plasma assisted chemical vapour deposition method. Journal de Physique IV Proceedings, 2001, 11, pp.803-810. ⟨hal-00152634⟩

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