Surface micro-machining : an overview

D. Collard; H. Fujita; H. Toshiyoshi; Bernard Legrand; L. Buchaillot

Article Dans Une Revue Nano et micro technologies Année : 2002

Surface micro-machining : an overview

(1) , , , ,

1

D. Collard

Fonction : Auteur

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

H. Fujita

Fonction : Auteur

H. Toshiyoshi

Fonction : Auteur

Bernard Legrand

Fonction : Auteur
PersonId : 4144
IdHAL : bernard-legrand
ORCID : 0000-0001-5158-3654
IdRef : 137439423

CV

L. Buchaillot

Fonction : Auteur
PersonId : 180198
IdHAL : lionel-buchaillot
ORCID : 0000-0002-9844-0498
IdRef : 060779136

Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00148781

Soumis le : mercredi 23 mai 2007-10:58:29

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Dates et versions

hal-00148781 , version 1 (23-05-2007)

Identifiants

HAL Id : hal-00148781 , version 1

Citer

D. Collard, H. Fujita, H. Toshiyoshi, Bernard Legrand, L. Buchaillot. Surface micro-machining : an overview. Nano et micro technologies, 2002, 2, pp.35-50. ⟨hal-00148781⟩

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