Article Dans Une Revue
Journal of Micromechanics and Microengineering
Année : 2002
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https://hal.science/hal-00148763
Soumis le : mercredi 23 mai 2007-10:44:37
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00148763 , version 1
Citer
E. Quevy, B. Parvais, J.P. Raskin, L. Buchaillot, D. Flandre, et al.. A modified bosch-type process for precise surface micromachining of polysilicon. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2002, 12, pp.328-333. ⟨hal-00148763⟩
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