Characterisation of micromachining processes during KrF excimer laser ablation of TiNi shape memory alloy thin sheets and films - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Smart Materials and Structures Année : 2002

Characterisation of micromachining processes during KrF excimer laser ablation of TiNi shape memory alloy thin sheets and films

S.T. Davies
  • Fonction : Auteur
E.C. Havey
  • Fonction : Auteur
H. Jin
  • Fonction : Auteur
J.P. Hayes
  • Fonction : Auteur
M.K. Ghantasala
  • Fonction : Auteur
I. Roch
CV
L. Buchaillot
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00148762

Soumis le : mercredi 23 mai 2007-10:44:37

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00148762 , version 1 (23-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00148762 , version 1

Citer

S.T. Davies, E.C. Havey, H. Jin, J.P. Hayes, M.K. Ghantasala, et al.. Characterisation of micromachining processes during KrF excimer laser ablation of TiNi shape memory alloy thin sheets and films. Smart Materials and Structures, 2002, 11, pp.708-714. ⟨hal-00148762⟩

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