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Article Dans Une Revue Nano et micro technologies Année : 2002

Electrostatic micro actuators

D. Collard
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
H. Fujita
  • Fonction : Auteur
H. Toshiyoshi
  • Fonction : Auteur
Bernard Legrand
CV
L. Buchaillot

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://hal.science/hal-00148761

Soumis le : mercredi 23 mai 2007-10:44:36

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00148761 , version 1 (23-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00148761 , version 1

Citer

D. Collard, H. Fujita, H. Toshiyoshi, Bernard Legrand, L. Buchaillot. Electrostatic micro actuators. Nano et micro technologies, 2002, 2, pp.83-124. ⟨hal-00148761⟩

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