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Autre Publication Scientifique Année : 2002

Elaboration et caractérisation de technologies microsystèmes avancées : structures d'actionnement tridimensionnelles et résonateurs électromécaniques à entrefer latéral nanométrique

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https://hal.science/hal-00148760

Soumis le : mercredi 23 mai 2007-10:44:30

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00148760 , version 1 (23-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00148760 , version 1

Citer

E. Quevy. Elaboration et caractérisation de technologies microsystèmes avancées : structures d'actionnement tridimensionnelles et résonateurs électromécaniques à entrefer latéral nanométrique. 2002. ⟨hal-00148760⟩

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