Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées

D. Galayko; A. Kaiser; Bernard Legrand; L. Buchaillot; D. Collard; C. Combi

Conference papers

Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées

D. Galayko ¹ A. Kaiser Bernard Legrand L. Buchaillot D. Collard C. Combi

1 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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Contributor : Collection Iemn Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, May 23, 2007 - 10:31:41 AM
Last modification on : Wednesday, March 23, 2022 - 3:50:21 PM

Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées

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