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Conference papers

Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées

Document type :
Conference papers
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00148748
Contributor : Collection Iemn Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, May 23, 2007 - 10:31:41 AM
Last modification on : Wednesday, March 23, 2022 - 3:50:21 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00148748, version 1

Citation

D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard, et al.. Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées. Colloque CAO des Circuits Intégrés et Systèmes, 2002, Paris, France. ⟨hal-00148748⟩

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