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Conference papers

Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées

Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas

https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00148748
Contributor : Collection Iemn <>
Submitted on : Wednesday, May 23, 2007 - 10:31:41 AM
Last modification on : Monday, March 2, 2020 - 1:38:04 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00148748, version 1

Citation

D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard, et al.. Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées. Colloque CAO des Circuits Intégrés et Systèmes, 2002, Paris, France. ⟨hal-00148748⟩

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