Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées

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Conference papers
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Contributor : Marie-Renée Friscourt <>
Submitted on : Wednesday, May 23, 2007 - 10:31:41 AM
Last modification on : Friday, November 16, 2018 - 4:28:04 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00148748, version 1

Citation

D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard, et al.. Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées. Colloque CAO des Circuits Intégrés et Systèmes, 2002, Paris, France. ⟨hal-00148748⟩

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