Measurement of the elastic and viscoelastic properties of dielectric films used in microelectronics - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 2002

Measurement of the elastic and viscoelastic properties of dielectric films used in microelectronics

G. Carlotti
  • Fonction : Auteur
P. Colpani
  • Fonction : Auteur
D. Piccolo
  • Fonction : Auteur
S. Santucci
  • Fonction : Auteur
V. Senez
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
G. Socino
  • Fonction : Auteur
L. Verdini
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00148744

Soumis le : mercredi 23 mai 2007-10:20:38

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00148744 , version 1 (23-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00148744 , version 1

Citer

G. Carlotti, P. Colpani, D. Piccolo, S. Santucci, V. Senez, et al.. Measurement of the elastic and viscoelastic properties of dielectric films used in microelectronics. Thin Solid Films, 2002, 414, pp.99-104. ⟨hal-00148744⟩

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