Design of clamped-clamped beam resonator in thick-film epitaxial polysilicon technology

D. Galayko; A. Kaiser; Bernard Legrand; L. Buchaillot; C. Combi; D. Collard

Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Design of clamped-clamped beam resonator in thick-film epitaxial polysilicon technology

(1) , , , , ,

1

D. Galayko

Fonction : Auteur
PersonId : 13414
IdHAL : dimitri-galayko
ORCID : 0000-0002-7056-7489
IdRef : 069883130

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

CV

A. Kaiser

Fonction : Auteur
PersonId : 20767
IdHAL : andreas-kaiser
ORCID : 0000-0003-0377-7408
IdRef : 069317356

CV

Bernard Legrand

Fonction : Auteur
PersonId : 4144
IdHAL : bernard-legrand
ORCID : 0000-0001-5158-3654
IdRef : 137439423

CV

L. Buchaillot

Fonction : Auteur
PersonId : 180198
IdHAL : lionel-buchaillot
ORCID : 0000-0002-9844-0498
IdRef : 060779136

C. Combi

Fonction : Auteur

D. Collard

Fonction : Auteur

Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00148736

Soumis le : mercredi 23 mai 2007-10:20:29

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Dates et versions

hal-00148736 , version 1 (23-05-2007)

Identifiants

HAL Id : hal-00148736 , version 1

Citer

D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, C. Combi, et al.. Design of clamped-clamped beam resonator in thick-film epitaxial polysilicon technology. 2002, pp.447-450. ⟨hal-00148736⟩

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