High quality factors of silicon membranes with piezoelectric actuation and detection scheme for biosensing purpose in liquid media - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

High quality factors of silicon membranes with piezoelectric actuation and detection scheme for biosensing purpose in liquid media

Cédric Ayela
Thierry Leichle
C. Bergaud
Liviu Nicu
Eric Cattan
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Caroline Soyer
M. Pugniere
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00147730

Soumis le : lundi 21 mai 2007-09:07:09

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00147730 , version 1 (21-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00147730 , version 1

Citer

Cédric Ayela, Thierry Leichle, C. Bergaud, Liviu Nicu, Eric Cattan, et al.. High quality factors of silicon membranes with piezoelectric actuation and detection scheme for biosensing purpose in liquid media. 2006, 6 pp. ⟨hal-00147730⟩

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