Large scale time characterization and analysis of PBTI in HfO2/metal gate stacks - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Large scale time characterization and analysis of PBTI in HfO2/metal gate stacks

J. Mitard
  • Fonction : Auteur
X. Garros
  • Fonction : Auteur
L.P. Nguyen
  • Fonction : Auteur
Cédric Leroux
  • Fonction : Auteur
G. Ghibaudo
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique
CV
F. Martin
  • Fonction : Auteur
G. Reimbold
  • Fonction : Auteur

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00146929

Soumis le : mardi 15 mai 2007-15:30:43

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:19:22

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00146929 , version 1 (15-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00146929 , version 1

Citer

J. Mitard, X. Garros, L.P. Nguyen, Cédric Leroux, G. Ghibaudo, et al.. Large scale time characterization and analysis of PBTI in HfO2/metal gate stacks. IRPS 2005, 2006, Grenoble, France. pp.XX. ⟨hal-00146929⟩

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