Influence of TiN Metal Gate on Si/SiO2 Surface Roughness in N and PMOSFETs - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2005
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00146549 , version 1 (15-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00146549 , version 1

Citer

L. Thévenod M. Cassé M. Mouis G. Reimbold F. Fillot B. Guillaumot F. Boulanger. Influence of TiN Metal Gate on Si/SiO2 Surface Roughness in N and PMOSFETs. International Conference on Insulating Films on Semiconductors (INFOS'2005, 2005, pp.XX. ⟨hal-00146549⟩

Collections

UGA CNRS
19 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More