Performance of Pt-based low Schottky barrier silicide contacts on weakly doped silicon - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2003

Performance of Pt-based low Schottky barrier silicide contacts on weakly doped silicon

G. Larrieu
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Emmanuel Dubois
CV
X. Wallart

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https://hal.science/hal-00146405

Soumis le : mardi 15 mai 2007-08:30:36

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00146405 , version 1 (15-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00146405 , version 1

Citer

G. Larrieu, Emmanuel Dubois, X. Wallart. Performance of Pt-based low Schottky barrier silicide contacts on weakly doped silicon. 2003, pp.D791-D796. ⟨hal-00146405⟩

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