Technological fabrication of nanometric GaInAs/AlInAs ballistic devices

Jean-Sebastien Galloo (1) , Emmanuelle Pichonat (1) , Yannick Roelens (1) , S. Bollaert (1) , X. Wallart (1) , A. Cappy (1) , Javier Mateos (2) , Tomás González (2) , Hervé Boutry (3)

1 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
2 Universidad de Salamanca
3 UCL - Université Catholique de Louvain = Catholic University of Louvain

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

Jean-Sebastien Galloo, Emmanuelle Pichonat, Yannick Roelens, S. Bollaert, X. Wallart, et al.. Technological fabrication of nanometric GaInAs/AlInAs ballistic devices. Trends in NanoTechnology, TNT 2003, Sep 2003, Salamanca, Spain. ⟨hal-00146040⟩