Fabrication of nano-ballistic devices using high resolution process

Emmanuelle Pichonat (1) , Jean-Sebastien Galloo (1) , Yannick Roelens (1) , S. Bollaert (1) , X. Wallart (1) , A. Cappy (1) , Javier Mateos (2) , Tomás González (2) , Hervé Boutry (3) , Vincent Bayot (3) , Lukasz Bednarz (3)

1 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
2 Universidad de Salamanca
3 UCL - Université Catholique de Louvain = Catholic University of Louvain

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

Emmanuelle Pichonat, Jean-Sebastien Galloo, Yannick Roelens, S. Bollaert, X. Wallart, et al.. Fabrication of nano-ballistic devices using high resolution process. Trends in NanoTechnology, TNT 2003, Sep 2003, Salamanca, Spain. ⟨hal-00146012⟩