PZT polarization voltage effects on off-centered PZT patch actuating silicon membrane - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Sensors and Actuators A: Physical Année : 2004

PZT polarization voltage effects on off-centered PZT patch actuating silicon membrane

M. Guirardel
  • Fonction : Auteur
C. Bergaud
Eric Cattan
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Denis Remiens
B. Belier
  • Fonction : Auteur
S. Petitgrand
  • Fonction : Auteur
A. Bosseboeuf
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00141180

Soumis le : jeudi 12 avril 2007-09:06:49

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00141180 , version 1 (12-04-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00141180 , version 1

Citer

M. Guirardel, C. Bergaud, Eric Cattan, Denis Remiens, B. Belier, et al.. PZT polarization voltage effects on off-centered PZT patch actuating silicon membrane. Sensors and Actuators A: Physical , 2004, 110, pp.385-389. ⟨hal-00141180⟩

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