Laser Doppler vibrometry for evaluating the piezoeletric coefficient d33 of thin film - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Review of Scientific Instruments Année : 2006

Laser Doppler vibrometry for evaluating the piezoeletric coefficient d33 of thin film

R. Herdier
  • Fonction : Auteur
D. Jenkins
  • Fonction : Auteur
El Hadj Dogheche
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Denis Remiens
M. Sulc
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00138709

Soumis le : mardi 27 mars 2007-11:07:11

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00138709 , version 1 (27-03-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00138709 , version 1

Citer

R. Herdier, D. Jenkins, El Hadj Dogheche, Denis Remiens, M. Sulc. Laser Doppler vibrometry for evaluating the piezoeletric coefficient d33 of thin film. Review of Scientific Instruments, 2006, 77, pp.093905-1-5. ⟨hal-00138709⟩

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