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Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Boron migration length in silicon : molecular dynamics versus experiments

E. Lampin
  • Fonction : Auteur
Christophe Krzeminski
F. Cleri
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00138696 , version 1 (27-03-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00138696 , version 1

Citer

V. Cuny, E. Lampin, Christophe Krzeminski, F. Cleri. Boron migration length in silicon : molecular dynamics versus experiments. Materials Research Society Spring Meeting, MRS Spring 2006, Sub-Second Rapid Thermal Processing for Device Fabrication, 2006, Moscone West, San-Franscico, CA, United States. ⟨hal-00138696⟩
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