Iridium silicide : a promising electrode for metallic source/drain in decananometer MOSFETs - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Iridium silicide : a promising electrode for metallic source/drain in decananometer MOSFETs

Emmanuel Dubois
X. Wallart
J. Katcki
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00138682 , version 1 (27-03-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00138682 , version 1

Citer

G. Larrieu, Emmanuel Dubois, X. Wallart, J. Katcki. Iridium silicide : a promising electrode for metallic source/drain in decananometer MOSFETs. 2006, pp.123. ⟨hal-00138682⟩
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